FAQs

代表的な例を上記のQ4に示します。米国他では、衣類ドライクリーング店のチェーン展開やボールペンのボールの洗浄も行われています。日本ではコンタクトレンズの洗浄、半導体工場 などで使用されるHEPAフィルタからのVOC他の除去、或いは、採用はされていないようですが半導体ウエハのエッチング残差の除去開発も行われてきました。
超臨界CO₂の溶解力を利用した洗浄技術は、環境調和型技術として幅広い分野で注目されています。また、超臨界CO₂は、表面張力が小さいため、細部まで浸透し、微細パターン(半導体部品・精密部品等) を変形させずに洗浄することができ、CO₂利用のため乾燥工程が不要となるユニークなプロセスです。こちらに超臨界CO₂洗浄システムの例を示します。

TOP