製品一覧 products

超臨界CO₂各種試験装置

多種多様な用途にご対応!

弊社がこれまで手掛けてきた、
超臨界CO₂各種試験装置をご紹介いたします。

ウェハ洗浄処理装置

超臨界CO₂を利用して、アルマイトの処理試験を行う試験装置
です。
設計圧力25MPa
設計温度100℃
容器容量7L

超臨界CO₂表面処理

超臨界CO₂を利用して、メッキ処理をする装置です。
設計圧力15MPa
設計温度120℃
容器容量7L

超臨界CO₂表面処理

超臨界CO₂を利用して、メッキ処理をする装置です。
設計圧力15MPa
設計温度100℃
容器容量20L

超臨界CO₂表面処理

超臨界CO₂を利用して、メッキ処理をするための装置です。
設計圧力15MPa
設計温度100℃
容器容量0.43L

ドライクリーンング装置

超臨界CO₂を利用して衣類をドライクリーニングする装置です。
設計圧力12MPa
設計温度60℃
容器容量112L

シリコンウエハ洗浄試験装置

超臨界CO₂を利用してシリコンウエハを洗浄する装置です。
設計圧力34MPa
設計温度100℃
容器容量200㏄

マルチユース試験機

超臨界CO₂を利用して各種反応試験を行う装置
設計圧力29MPa
設計温度150℃
容器容量300cc

超臨界CO₂ガスタービンサイク
ル性能試験装置

臨界点近傍のCO₂を利用した熱交換器の性能を測定するループ
式試験装置です
設計圧力15Mpa
設計温度350℃
CO₂流量646㎏/Hr

超臨界CO₂腐食試験装置

超臨界CO₂が金属に与える腐食の検証を行う装置です
設計圧力15Mpa
設計温度650℃
CO₂流量6kg/hr

熱交換器二相流試験装置

臨界点近傍のCO₂を使った熱交換器内のCO₂の挙動を確認する
装置です。
設計圧力15Mpa
設計温度50℃
CO₂流量6kg/hr

超臨界CO₂装置シリーズ ラインナップ

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