超臨界CO₂各種試験装置
多種多様な用途にご対応！
弊社がこれまで手掛けてきた、
超臨界CO₂各種試験装置をご紹介いたします。
ウェハ洗浄処理装置
です。
| 設計圧力 | 25MPa |
| 設計温度 | 100℃ |
| 容器容量 | 7L |
超臨界CO₂表面処理
| 設計圧力 | 15MPa |
| 設計温度 | 120℃ |
| 容器容量 | 7L |
超臨界CO₂表面処理
| 設計圧力 | 15MPa |
| 設計温度 | 100℃ |
| 容器容量 | 20L |
超臨界CO₂表面処理
| 設計圧力 | 15MPa |
| 設計温度 | 100℃ |
| 容器容量 | 0.43L |
ドライクリーンング装置
| 設計圧力 | 12MPa |
| 設計温度 | 60℃ |
| 容器容量 | 112L |
シリコンウエハ洗浄試験装置
| 設計圧力 | 34MPa |
| 設計温度 | 100℃ |
| 容器容量 | 200㏄ |
マルチユース試験機
| 設計圧力 | 29MPa |
| 設計温度 | 150℃ |
| 容器容量 | 300cc |
超臨界CO₂ガスタービンサイク
ル性能試験装置
式試験装置です
| 設計圧力 | 15Mpa |
| 設計温度 | 350℃ |
| CO₂流量 | 646㎏/Hr |
超臨界CO₂腐食試験装置
| 設計圧力 | 15Mpa |
| 設計温度 | 650℃ |
| CO₂流量 | 6kg/hr |
熱交換器二相流試験装置
装置です。
| 設計圧力 | 15Mpa |
| 設計温度 | 50℃ |
| CO₂流量 | 6kg/hr |
