超臨界CO2各種試験装置
（事例）
ウェハ洗浄処理装置
超臨界CO2中において、アルマイトの処理試験を行う試験装置です。
| 設計圧力 | 25MPa |
|---|---|
| 設計温度 | 100℃ |
| 容器容量 | 7L |
超臨界CO2表面処理
超臨界CO2中において、メッキ処理をする装置です。
| 設計圧力 | 15MPa |
|---|---|
| 設計温度 | 120℃ |
| 容器容量 | 7L |
超臨界CO2表面処理
超臨界CO2中において、メッキ処理をする装置です。
| 設計圧力 | 15MPa |
|---|---|
| 設計温度 | 120℃ |
| 容器容量 | 11L |
超臨界CO2表面処理
超臨界CO2中において、メッキ処理をするための装置です。
| 設計圧力 | 15MPa |
|---|---|
| 設計温度 | 110℃ |
| 容器容量 | 1.6L |
ドライクリーンング装置
超臨界CO2中で衣類をドライクリーニングする装置です。
| 設計圧力 | 12MPa |
|---|---|
| 設計温度 | 100℃ |
| 容器容量 | 30L |
シリコンウエハ洗浄試験装置
超臨界CO2中でシリコンウエハを洗浄する装置です。
| 設計圧力 | 34MPa |
|---|---|
| 設計温度 | 100℃ |
| 容器容量 | 230cc |
マルチユース試験機
超臨界CO2を利用して各種反応試験を行う装置
| 設計圧力 | 29MPa |
|---|---|
| 設計温度 | 150℃ |
| 容器容量 | 300cc |
超臨界CO2ガスタービンサイクル性能試験装置
臨界点近傍のCO2を利用した熱交換器の性能を測定するループ式試験装置です
| 設計圧力 | 29MPa |
|---|---|
| 設計温度 | 150℃ |
| 容器容量 | 300cc |
超臨界CO2腐食試験装置
超臨界CO2が金属に与える腐食の検証を行う装置です
| 設計圧力 | 12MPa |
|---|---|
| 設計温度 | 650℃ |
| 容器容量 | 6kg/hr |
熱交換器二相流試験装置
臨界点近傍のCO2を使った熱交換器内のCO2の挙動を確認する装置です。
| 設計圧力 | 7MPa |
|---|---|
| 設計温度 | 35℃ |
| 容器容量 | 6kg/hr |