超臨界CO2各種試験装置
(事例)

ウェハ洗浄処理装置

 

超臨界CO2中において、アルマイトの処理試験を行う試験装置です。

 

設計圧力 25MPa
設計温度 100℃
容器容量 7L

超臨界CO2表面処理

 

超臨界CO2中において、メッキ処理をする装置です。

 

設計圧力 15MPa
設計温度 120℃
容器容量 7L

超臨界CO2表面処理

 

超臨界CO2中において、メッキ処理をする装置です。

 

設計圧力 15MPa
設計温度 120℃
容器容量 11L

超臨界CO2表面処理

 

超臨界CO2中において、メッキ処理をするための装置です。

 

設計圧力 15MPa
設計温度 110℃
容器容量 1.6L

ドライクリーンング装置

 

超臨界CO2中で衣類をドライクリーニングする装置です。

 

設計圧力 12MPa
設計温度 100℃
容器容量 30L

シリコンウエハ洗浄試験装置

 

超臨界CO2中でシリコンウエハを洗浄する装置です。

 

設計圧力 34MPa
設計温度 100℃
容器容量 230cc

マルチユース試験機

 

超臨界CO2を利用して各種反応試験を行う装置

 

設計圧力 29MPa
設計温度 150℃
容器容量 300cc

超臨界CO2ガスタービンサイクル性能試験装置

 

臨界点近傍のCO2を利用した熱交換器の性能を測定するループ式試験装置です

 

設計圧力 29MPa
設計温度 150℃
容器容量 300cc

超臨界CO2腐食試験装置

 

超臨界CO2が金属に与える腐食の検証を行う装置です

 

設計圧力 12MPa
設計温度 650℃
容器容量 6kg/hr

熱交換器二相流試験装置

 

臨界点近傍のCO2を使った熱交換器内のCO2の挙動を確認する装置です。

 

設計圧力 7MPa
設計温度 35℃
容器容量 6kg/hr