超臨界CO2洗浄システム

廃液・乾燥
処理が
不要!!

超臨界CO2の溶解力を利用した洗浄技術は、環境調和型技術として幅広い分野で注目されています。また、超臨界CO2は、表面張力が小さいため、細部まで浸透し、微細パターン(半導体部品・精密部品等)を変形させずに洗浄することができます。

 

仕様・特徴

  • 乾燥工程が不要
  • 洗浄液の再生、再利用が容易
  • 洗浄に伴う廃液・廃水処理が不要仕様・特長

 

設計圧力 10MPa
設計温度 40℃
洗浄槽容量 12L

機器構成

  • 洗浄槽(外部ヒータ、自動開閉蓋付)
  • 液化供給槽(凝縮機内蔵)
  • 廃液回収槽(加熱器内蔵)
  • 冷凍器(5.5kw)
  • フィルター(予備切替式)
  • 自動制御装置(タッチパネル)

原 理

  • 洗浄操作は臨界点近傍の亜臨界領域から超臨界領域まで
  • 洗浄廃液は、炭酸ガスと残渣を分離
  • 炭酸ガスは液化し、再利用
  • 残渣は、純粋な洗浄残渣のみ

 

 

洗浄対象物

  • ドライクリーニング : 衣類洗浄、残留有害物質の除去
  • 精密機器部品 : 油除去、溶剤除去
  • 半導体分野 : ウエハ、レジスト膜剥離、ITパーツ洗浄

優位性

  • 水や熱に弱い部品材料の洗浄が可能
  • 乾燥時間が不要
  • 複合材の組立品洗浄が可能

 

 

オプション

  • 炭酸ガス回収システム
  • TVモニター
  • ※ご相談により、各種対応が可能です。