超臨界ＣＯ２洗浄システム

炭酸ガス洗浄システム

仕様

• 設計圧力：10MPa 　
• 設計温度：40℃ 　
• 洗浄槽容量：12L

機器構成

• 洗浄槽（外部ヒータ、自動開閉蓋付）
• 液化供給槽（凝縮機内蔵）
• 廃液回収槽（加熱器内蔵）
• 冷凍器（5.5kw）
• フィルター（予備切替式）
• 自動制御装置（タッチパネル）

特長

• 乾燥工程が不要
• 洗浄液の再生、再利用が容易
• 洗浄に伴う廃液・廃水処理が不要

原理

• 洗浄操作は臨界点近傍の亜臨界領域～
• 洗浄廃液は、炭酸ガスと残渣を分離
• 炭酸ガスは液化し、再利用
• 残渣は、純粋な洗浄残渣のみ

洗浄対象物

• ドライクリーニング：衣類洗浄、残留有害物質の除去
• 精密機器部品：油除去、溶剤除去
• 半導体分野：ウエハ、レジスト膜剥離、ITパーツ洗浄

優位性

• 水や熱に弱い部品材料の洗浄が可能
• 乾燥時間が不要
• 複合材の組立品洗浄が可能

オプション

• 炭酸ガス回収システム
• ＴＶモニター

ウエハ洗浄装置

仕様

• 設計圧力：25MPa 　
• 設計温度：100℃ 　
• 洗浄槽容量：3.3L
• クリーン仕様

ウエハ洗浄装置